氫氧化四甲基銨的回收系統與方法專利登記公告
專利名稱：氫氧化四甲基銨的回收系統與方法
摘要：本發明關于一種氫氧化四甲基銨的回收系統與方法，本發明的設備系統以及該流程主要是提供一種較為簡化的設置與流程，可以將氫氧化四甲基銨(TMAH)與該光阻劑分離，且以較為精簡的設備成本與流程提升氫氧化四甲基銨的純度，且進一步降低排放出去的廢水對于環境的污染。
專利類型：發明專利
專利號：CN201110073689.7
專利申請（專利權）人：敏森工程有限公司
專利發明（設計）人：陳春森
主權項：一種氫氧化四甲基銨回收系統，其特征在于包括：一個收集槽；一個過濾器，與該收集槽相連接；一個陽離子樹脂塔，與該過濾器相連通；一個硫酸進料槽；一個第一再生液槽，與該陽離子樹脂塔連通；一個第二再生液槽，與該陽離子樹脂塔連通；且與該硫酸進料槽連通；一個廢水槽，與該陽離子樹脂塔連通；一個電透析槽，與該第一再生液槽連通。
專利地區：臺灣
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